Autores UNAM:
XAVIER MATHEW;

---

Número de solicitud:
MX/A/2010/002876

---

Fecha de presentacion:
16/03/2010

---

Numero de concesion:
314740

---

Fecha de concesión:
30/10/2013

---

Resumen:

EL SISTEMA INTEGRAL Y PORTATIL PARA DEPOSITAR PELICULAS DELGADAS DE SEMICONDUCTOR POR EL METODO DE SUBLIMACION EN ESPACIO CERCANO PERMITE EL CRECIMIENTO DE PELICULAS DELGADAS DE UNA MANERA OPTIMA ESTO COMO CONSECUENCIA DE REDUCIR PRINCIPALMENTE EL TIEMPO DEL PROCESO, EL CONSUMO DE ENERGIA ELECTRICA PARA EL CALENTAMIENTO DEL REACTOR Y LA DISPOSICION DE SUS PIEZAS MODULARES PERMITE EL REEMPLAZO FACIL DE LOS COMPONENTES QUE LO INTEGRAN. LA INTEGRACION DEL SISTEMA PERMITE QUE SEA PORTABLE Y PERMITE EL MONITOREO DE LAS VARIABLES DEL PROCESO.

---

Entidades por adscripción en la UNAM:
Instituto de Energías Renovables;