Interfaz computadora- electroválvulas del sistema BUSTER para depósito de ALD-Pt Manual para su uso en el laboratorio de ALD del Departamento de Fisicoquímica de Nanomateriales del CNyN
Autores UNAM: DAVID ALEJANDRO DOMINGUEZ VARGAS;
Entidad: CENTRO DE NANOCIENCIAS Y NANOTECNOLOGÍA EN LA UNAMPágina Inicial: Página final: Fecha: 01/01/2013