Preparacion de peliculas de nitruro de silicio por PECVD y su caracterizacion electrica

Sinodales:
JUAN CARLOS ALONSO HUITRON;
Autores:
Espinosa Mendoza, Martin
Tipo de tesis:
Tesis de Licenciatura
Entidad presentadora de examen profesional:
Facultad de Ciencias
Entidades por adscripción en la UNAM: