Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica

Sinodales:
JUAN CARLOS ALONSO HUITRON;
Autores:
Pichardo Pedrero, Ernesto
Tipo de tesis:
Tesis de Maestría
Entidad presentadora de examen profesional:
Instituto de Investigaciones en Materiales
Entidades por adscripción en la UNAM: