SISTEMA INTEGRAL DE INFORMACIÓN ACADÉMICA - PÚBLICO
Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica
Sinodales: JUAN CARLOS ALONSO HUITRON;
Autores: Pichardo Pedrero, ErnestoTipo de tesis: Tesis de MaestríaEntidad presentadora de examen profesional: Instituto de Investigaciones en MaterialesEntidades por adscripción en la UNAM: