Composicion elemental de peliculas SixNyHz/Si producidas con tecnicas de plasmas utilizando un acelerador de particulas

Sinodales:
EDUARDO ANDRADE IBARRA;
Autores:
Acosta Sánchez, Luis Armando
Tipo de tesis:
Tesis de Licenciatura
Entidad presentadora de examen profesional:
Facultad de Ciencias
Entidades por adscripción en la UNAM: