Estudio de las propiedades ópticas y la estabilidad química de películas delgadas de nc-SiNx:H crecidas por PECVD, variando el hidrógeno y la potencia del plasma
Sinodales:
GUILLERMO SANTANA RODRIGUEZ;
Autores:
Castillo Flores, Fernando
Tipo de tesis:
Tesis de Maestría
Entidad presentadora de examen profesional:
Coordinación de Estudios de Posgrado
Entidades por adscripción en la UNAM:
Instituto de Investigaciones en Materiales;
GUILLERMO SANTANA RODRIGUEZ;
Autores:
Castillo Flores, Fernando
Tipo de tesis:
Tesis de Maestría
Entidad presentadora de examen profesional:
Coordinación de Estudios de Posgrado
Entidades por adscripción en la UNAM:
Instituto de Investigaciones en Materiales;
Fuente:
