Estudio de la variación del rendimiento de la pulverización catódica para la formación de películas delgadas metálicas y bimetálicas

Sinodales:
EDUARDO ANDRADE IBARRA; STEPHEN MUHL SAUNDERS;
Autores:
Cruz Cárdenas, Julio César
Tipo de tesis:
Tesis de Doctorado
Entidad presentadora de examen profesional:
Coordinación de Estudios de Posgrado
Entidades por adscripción en la UNAM:
Instituto de Física; Instituto de Investigaciones en Materiales;