Atrapamiento de los electrones y la distribución del depósito producido por sputtering con magnetrón

Sinodales:
STEPHEN MUHL SAUNDERS;
Autores:
Salguero Martínez, Kassandra
Tipo de tesis:
Tesis de Maestría
Entidad presentadora de examen profesional:
Coordinación de Estudios de Posgrado
Entidades por adscripción en la UNAM:
Instituto de Investigaciones en Materiales;